Qualitätskontrolle und Prozessvorhersage

Semitec entwickelt Methoden zur Überwachung von CMP-Prozessen. Durch die Auswertung von Messwerten der Qualitätsüberwachung und der Verknüpfung mit Materialeigenschaften der Verbrauchsmittel und mit maßgeblichen Prozessparametern ist es möglich, entscheidende Qualitätsparameter des CMP-Prozesses vorherzusagen. Über diese Vorhersagemodelle können Frühwarnsysteme etabliert werden und so Kosten und Ressourcen gespart werden.

Die Vorhersagemodelle und die Weiterentwicklung von Sensoren werden im Rahmen des von der Europäischen Union geförderten Projektes ARAMID (radAR für AutonoMes fahren eInsetzbar von jeDermann) entwickelt. Am Förderprojekt sind neben Semitec, die Bosch Sensortec, Globalfoundries Dresden, das Fraunhofer IKTS und das Fraunhofer EAS/EES beteiligt.